2011年4月1日，科技部高技术研究发展中心在北京市组织验收专家组，以现场验收方式，对电子所可编程芯片与系统研究室承担的863计划先进制造技术领域“微纳传感器电容信号检测集成技术基础研究”课题进行了验收。

　  验收专家组认真听取了课题负责人杨海钢研究员所做的验收报告，观看了现场演示，并审查了项目相关技术文档和测试报告，认为课题完成了合同规定的任务，各项指标均达到或超过课题预期目标，一致同意通过技术验收，并对课题组所研制的低噪声电容信号检测芯片表示出了浓厚的兴趣。

　  该课题针对目前传感器系统微型化的需求和趋势，研究了微纳传感器与微弱信号读出电路系统集成中的关键技术与方法，设计出一种高性能微弱电容信号读出电路芯片。课题建立了联合仿真电容传感器模型，提出全新的电容信号读出方法，在提高系统分辨率，增强可靠性的同时，有效节省了系统资源和功耗，并通过二次集成，优化了微系统的性能和体积。

　  课题所研制的芯片可用于检测MEMS微陀螺、微加速度计、压力传感器等微传感器输出的微弱电容信号，在工业控制、医疗器械、物探装备、汽车电子、消费电子、航空航天等领域都有着广阔的市场前景。该课题的研制成功，对推动电容检测芯片的国产化有着重要的意义，并为国产MEMS传感器系统的微型化和产业化奠定了基础。

　  （十一室 黄志洪）