姓 名:夏善红

 性 别:女

 出生年月:1958年 10.月

 职 称:研究员

 专 业:物理电子学

 社会兼职:国家863计划微机电系统(MEMS)重大专项总体专家组成员

 研究方向:微传感技术与微光机电系统

 从事专业领域科研情况和成果简介:

 1983年毕业于清华大学无线电电子学系，获学士学位，校优良毕业生；1986年在中国科学院电子学研究所获硕士学位, 留所工作。1990年获得英国皇家学会Royal Fellowship，赴英国剑桥大学工程系电子工程专业访问进修，当选为剑桥Churchill学院Fellow Commoner；次年攻读博士, 1994年获博士学位。1995年初回中国科学院电子学研究所工作至今；1998年曾赴香港科技大学电机与电子工程系进行短期合作研究；2002年获得美国加州大学伯克利分校2002－2004年度Berkeley Scholarship，多次赴该校传感器与执行器中心开展合作研究工作。目前担任中国科学院电子学研究所学术委员会及学位委员会委员、传感技术国家重点实验室主任，并担任国家863计划微机电系统(MEMS)重大专项总体专家组成员、中国电子学会理事、IEEE 电子器件学会北京分部副主席、中国电子学会真空电子学分会副主任委员、中国电子学会电子线路与系统分会委员、中国真空学会电子材料与器件专业委员会副主任委员、中国自动化学会机器人专业委员会委员等职。作为项目负责人，承担并完成了国家自然科学基金、863等十余项研究课题。发表论文一百余篇，获得中国发明专利三项。1998年获得中国科学院电子学研究所优秀研究生导师奖。

目前主要从事微光机电系统(MEMS)技术、微传感器及其系统、新型真空微电子器件研究。研究兴趣包括：集成微传感器及其系统的设计与制作、微传感片上系统(SOC)设计与信号处理、MEMS加工技术、MEMS自组装技术、MEMS设计方法及仿真、新型MEMS器件及真空微电子器件等。

 主要论文：

 [1] S. H. Xia, J. Liu, D. F. Cui, J. H. Han, S. F. Chen, and L. Wang, “Investigation on a novel vacuum microelectronic pressure sensor with stepped field emission array”, J. Vac. Sci. Technol. B, Vol. 15, No. 4, Jul/Aug 1997, pp.1573-1576.

 [2] Shanhong Xia, Jia Liu, Jie Su, and Shaofeng Chen,“A Multi-functional Microsensor System”, International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation, Volume 1, 2000, pp.415-418.

 [3] SU Jie, XIA Shanhong and CHEN Shaofeng,“A Vacuum Microelectronic Pressure Sensor Array Integrated with Temperature Sensor”, Chinese Journal of Electronics, Vol.10, No.3, July 2001, pp.332-335.

 [4] Jian-Gang Zhang，Shan-Hong Xia，Shao-Feng Chen，“The fabrication of large area Si3N4 membrane mounted with NiCr/Ni thermocouples”，International Journal of Nonlinear Sciences and Numerical Simulation，Vol.3, Nos.3-4, 2002, pp.423-425,

 [5] Song Qinglin, Cui Zheng, Xia Shanhong et al., “Measurement of SiNx Thin Film Thermal Property with Suspended Membrane Structure”, Sensors and Actuators A Physical, 2004,112(1): 122-126.