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| 俄发明集成电路“干”印法 |
| 发布时间:2016-03-30 |
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本报莫斯科6月8日电(记者董映璧)俄罗斯科学院物理技术研究所提出利用纳米巴基球材料印制集成电路的方法。利用该方法生产的集成电路质量高、效益好，生产过程中不会出现石印技术中产生的“湿”和“脏”的问题。该项目得到了俄罗斯教育科学部和“发展与独联体国家科学家合作的国际协会”(INTS)的资助，并已在俄罗斯申请了专利。
目前，微电子技术中石印刷生产集成电路的方法主要是在要制作的元件表面上覆盖防染剂，该元件是用导电材料、绝缘体和半导体材料制成的。在元件表面上覆盖防染剂目的是在日、它的上面建立隐蔽的集成电路元件造型，经过有机溶液的处理后，隐蔽的造型就像冲洗胶片一样留下了。但这样生产的集成电路容易被化学或等离子体等物质破坏，也容易因溶解液纯度不高出现杂质产生质量问题，容易在生产过程中出现了令人头疼的“湿”和“脏”的环境污染问题。俄科研人员技术物理学博士尤里•高尔捷耶夫教授建议使用纳米巴基球材料做防染剂解决上述问题。
尤里•高尔捷耶夫认为，如果在某个衬底表面镀上一层巴基球就可以获得一种称为巴基球的材料，然后对这个表面小心进行加热，所有的巴基球像碘分子一样蒸发了而不被破坏；但如果用一束，比如电子束作用巴基球材料层，其上巴基球将被破坏，转变成非晶体碳材料牢固地留在制件表面，这样的非晶体碳材料结构具有导电性，是一种有潜力的量子导体(比如可作三极管的开关和其他重要电子元件)；因此，如果在这个过程中使部分巴基球蒸发，部分留在制件表面，就可以生产集成电路。他说，这种方法能够生产大小在几个纳米的超微型电子元件，大大提高现代微电子技术工艺中集成电路生产的质量，并解决目前集成电路石印技术中产生的“湿”和“脏”的问题，是一种“干燥”的集成电路生产方法。
尤里•高尔捷耶夫指出，目前的纳米技术工艺已经可以生产出上百千克的巴基球材料。因此，在当前的技术条件下他提出的方法适合于像手机这样比较简单的集成电路的生产，将来技术和工艺完善后可以用于微型中央处理器集成电路的生产。
文章出处:科技日报 |
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