项目简介 

　　在新品、所创新等项目资助下，电子所开展了电磁激励/磁感应检测、静电激励/电容检测两种振动环式微机械陀螺仪的研制，突破了传感器理论建模、结构设计与优化、MEMS加工、检测电路等关键技术，研制出陀螺仪工程样机，完成监督检测和设计定型，并交付用户试用。 

　　产品性能与技术指标 

　　测量范围：±200º/s； 

　　分辨率：0.005 º/s； 

　　零位漂移：0.01 º/s； 

　　非线性度：0.1%; 

　　冲击过载能力：10000g； 

　　温度范围：-40-70 ºC。 

　　项目成熟度 

　　电磁激励/磁感应检测振动环式陀螺仪处于工程样机阶段。 

　　拟合作方式 

　　合作开发、技术转让。 

　　产业化前景分析 

　　国内微机械陀螺仪的研发均处于工程样机阶段，国外高端微机械陀螺仪对国内禁运，在军事国防、汽车电子等领域有着很好的产业化空间。 

　　应用范围 

　　飞行器惯性测量、汽车电子控制系统等。 

　　经济效益分析 

　　国外高端器件仍处于禁运状态，若能实现微机械陀螺仪的批量化生产，经济效益可观，仅以汽车电子为例，我国每年高端车的销售超过数百万辆，高端车均配备微机械陀螺仪，仅此一项的经济效益即可说明问题。 

　　电磁式振动环微机械陀螺仪照片 

三轴电磁式振动环微机械陀螺仪与测试曲线