项目简介 

　　金属氧化物气体传感器因具有灵敏度高、响应快、价格低等优势而在民用燃气监测、空气污染监测等领域广泛应用。传统的金属氧化物气体传感器体积大、功耗高，很难满足“掌上型”仪表的需求。集加热单元、温度传感器和测量电极于一体的微型金属氧化物气体传感器比较好地解决了传统器件功耗大的问题。同时，结合模式识别等信号处理方法，能够克服单个传感器选择性差的缺点，从而大大提高气体检测及报警的可靠性。 

　　基于MEMS技术的硅基微热板是微型金属氧化物气体传感器的核心器件。在863项目支持下，电子所研制出膜片型及梁支型四单元阵列式微热板。该微热板集加热单元、温度传感器和测量电极于一体，体积小、功耗低、工作温度可精确控制、批量生产成本低、一致性好、可靠性高、易与信号采集和处理电路集成，是气体传感器领域的前沿。 

　　产品性能与技术指标 

　　微热板结构：膜片型、梁支型 

　　微热板尺寸：3*3 mm2 

　　四单元阵列，温度可独立调控 

　　功耗（300℃）：<30mW/单元（膜片型）；<100mW/单元（梁支型） 

　　毫秒量级时间内可实现室温~500℃快速调制 

　　项目成熟度 

　　小试 

　　拟合作方式 

　　技术转让、产品销售 

　　产业化前景分析 

　　现已掌握MEMS硅基微热板制备关键技术，并可在实验室工艺线上进行小批量加工。实现产业化尚需解决器件成品率、批量生产一致性等问题。 

　　应用范围 

　　MEMS硅基微热板体积小、功耗低，用于制备金属氧化物气体传感器，可实现此类传感器的换代，填补国内低功耗金属氧化物气体传感器的空白。同时，采用硅基微热板可实现金属氧化物气体传感器在一些特定场合的应用，如电池供电气体检测仪表、集成于手机等电子产品中用于呼出气体特定成分报警等。 

　　此外，MEMS硅基微热板制备的共性关键技术同样适用于电调制红外光源、微流量传感器等器件。 

　　经济效益分析 

　　主要用于金属氧化物气体传感器研制，开发酒精检测仪、燃气报警器、CO报警器等，市场需求量巨大。 

MEMS硅基微热板