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宽带MEMS电化学地震检波器 项目简介 在国家自然科学基金、院地球物理仪器研制专项、863计划等项目资助下，电子所率先于2009年开展MEMS电化学地震检波器的研究，先后研制出基于叠层电极和平面电极的两种MEMS电化学地震检波器，突破了传感器理论建模与计算、结构设计与仿真、MEMS加工与封装、检测电路、频带补偿电路等一系列关键技术，实现了叠层电极的MEMS电化学地震检波器小批量试生产，开展了地震台站长期监测和野外天然微震对比测试等系列实验。 产品性能与技术指标 叠层电极MEMS电化学地震检波器 3dB通频带范围：1Hz-80Hz，20s-20Hz，30s-20Hz 动态范围：120dB 功耗：单轴<50mW 项目成熟度 1Hz-80Hz叠层电极MEMS电化学地震检波器：批量生产； 30s-20Hz叠层电极MEMS电化学地震检波器：样品； 60s-20Hz叠层电极MEMS电化学地震检波器：研发； 平面电极MEMS电化学地震检波器：研发。 拟合作方式 技术转让、合作开发、传感器出售等 专利情况 共申请专利4项 产业化前景分析 电化学地震检波器具有良好的低频性能，特别适合海底地震仪等海洋地球物理勘探应用场景。目前我国正在建立海底观测网，对相关器件需求量巨大。另外，电化学地震检波器还在油气资源勘探、海底水听器、建筑桥梁安全监测等领域有着潜在的应用。 目前我国电化学地震检波器均为进口，仅有美国和俄罗斯两家公司有售。电子所研制的MEMS电化学地震检波器，是国际上首次采用MEMS技术研制而成的电化学地震检波器，具有独立的知识产权，产业化潜力大。 应用范围 石油天然气资源勘探、海底地震仪（OBS）、尾矿库监测、地质灾害监测、建筑物监测、水听器等领域的低频段高灵敏度的振（震）动监测。 经济效益分析 随着油气资源勘探、海底地球物理探测等研究的推进，低频段、高灵敏MEMS电化学地震检波器的应用越来越广泛。目前该市场由国外公司垄断，单套售价在5万元以上。通过研发出具有自主知识产权的产品，可以替代国外产品，占领国内市场，拥有巨大的经济效益。
传感器芯片和批量化制造的单轴MEMS电化学地震检波器
三轴MEMS电化学地震检波器和检定证书
外场天然地震测试与频谱分析曲线 |
