项目简介 

　　在国家863计划、预研、新品、北京市科技计划重大项目、气象局公益专项等资助下，电子所自1997年开始率先在国内开展谐振式MEMS压力传感器研究，先后研制出电热激励/压阻检测、电磁激励/磁感应检测、静电激励/电容检测三种谐振式MEMS压力传感器，突破了传感器结构设计、MEMS加工工艺、圆片级真空封装、低应力组装、闭环谐振电路、检测仪表等关键技术，并在实验室条件下实现了小批量试生产。 

　　产品性能与技术指标 

　　经中航304所第三方测试，电磁激励/磁感应检测谐振式MEMS压力传感器主要性能指标： 

　　测量范围：50kPa-120kPa； 

　　综合精度：±0.05%F.S.； 

　　非线性度：优于0.1%； 

　　分辨率：10Pa； 

　　工作温度：-40ºC-70ºC。 

　　专利情况 

　　共申请专利10项  

　　产业化前景分析 

　　MEMS谐振式高精度压力传感器已完成在地面气象站的示范应用，它不仅能应用于地面气象站的气压观测，还可应用于无人机气压高度计、工业控制压力测量以及压力校验仪等高精度压力测量领域。 

　　应用范围 

　　检测精度高于0.1%F.S.的自动气象站、无人机、飞行器、工业控制、压力校验仪、气压高度计等领域的压力检测。 

　　经济效益分析 

　　压力传感器占传感器市场总份额的30%左右。高端压力传感器（精度优于0.1%F.S.）售价很高。目前MEMS谐振式压力传感器在国际上仅有2家公司推出产品，国外产品垄断了市场。研发出具有自主知识产权的谐振式高精度压力传感器，可直接与国外产品竞价，市场规模巨大（仅其在气压上的应用年市场份额在亿元以上）。 

批量化制造的传感器芯片（4寸晶圆）

批量化制造的谐振式压力传感器

第三方检测报告